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維薩拉 BAROCAP 微型機(jī)械壓力傳感器
日期：2025-05-13 12:33
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摘要：維薩拉 BAROCAP 微型機(jī)械壓力傳感器在廣泛應(yīng)用中為用戶提供可靠的性能，可在從氣象到工業(yè)測量的廣泛應(yīng)用中提供可靠的性能。采用了兩項強(qiáng)大技術(shù)：單晶硅材料和電容測量，BAROCAP 傳感器具有低滯后性、出色的準(zhǔn)確度和長期穩(wěn)定性。
維薩拉 BAROCAP 微型機(jī)械壓力傳感器在廣泛應(yīng)用中為用戶提供可靠的性能
動態(tài)黑色音符
維薩拉 BAROCAP® 于 1985 年**推出，是一種硅基微型機(jī)械壓力傳感器，可在從氣象到工業(yè)測量的廣泛應(yīng)用中提供可靠的性能。采用了兩項強(qiáng)大技術(shù)：單晶硅材料和電容測量，BAROCAP 傳感器具有低滯后性、出色的準(zhǔn)確度和長期穩(wěn)定性。
BAROCAP® 簡介
? 超過 35 年的**的壓力測量
? 用于優(yōu)良壓力測量的硅基電容式傳感器
? 氣壓范圍 500...1100 hPa
? 適用于工業(yè)應(yīng)用的 50...1100 hPa 壓力范圍
? 工藝過程壓力測量范圍 1...10 bar
? NIST 可溯源的壓力測量
BAROCAP® 的獨特優(yōu)勢
? 低滯后，高復(fù)現(xiàn)性
? **的長期穩(wěn)定性
? 可承受惡劣條件
工作原理
BAROCAP® 是一種微型機(jī)械傳感器，它利用其硅膜的尺寸變化來測量壓力。隨著周圍壓力增加或降低，膜會彎曲，從而增大或減小傳感器內(nèi)部真空間隙的高度。真空間隙相對的兩個面充當(dāng)電極，隨著兩個電極之間距離的變化，傳感器的電容也會發(fā)生變化。測量電容并將其轉(zhuǎn)換為壓力讀數(shù)。
BAROCAP® 傳感器特性 —— 該傳感器的單晶硅材質(zhì)帶來了良好的特性：彈性好、滯后性低、重復(fù)性好、低溫依賴性和**的長期穩(wěn)定性。電容式結(jié)構(gòu)使傳感器具有較寬的動態(tài)范圍，并為超壓阻斷提供了內(nèi)置機(jī)制。
氣壓測量典型應(yīng)用
氣壓測量在氣象學(xué)中具有廣泛的應(yīng)用。需要氣壓數(shù)據(jù)來估計大氣中可沉淀的水蒸氣量。典型的應(yīng)用包括氣象站、數(shù)據(jù)浮標(biāo)、GPS 氣象學(xué)和環(huán)境數(shù)據(jù)記錄。氣壓測量也用于水文學(xué)和土壤學(xué)應(yīng)用。
在多種工業(yè)應(yīng)用中也需要氣壓數(shù)據(jù)。在對壓力敏感的工業(yè)設(shè)備（如激光干涉儀和光刻系統(tǒng)）、航空應(yīng)用以及在廢氣分析中需對氣壓進(jìn)行測量。計量應(yīng)用包括實驗室壓力標(biāo)準(zhǔn)測量和校準(zhǔn)實驗室中的環(huán)境監(jiān)測。
維薩拉提供一系列用于室內(nèi)外的專業(yè)級氣壓計。BAROCAP® 氣壓計在大跨度溫度范圍內(nèi)適用，在高要求的應(yīng)用環(huán)境下（如專業(yè)的氣象和航空）也有可靠表現(xiàn)。
BAROCAP® 在加壓系統(tǒng)中的測量應(yīng)用
維薩拉 DRYCAP® 露點儀表具有悠久的歷史，可在壓縮空氣系統(tǒng)中提供可靠、穩(wěn)定的測量結(jié)果，并在高壓設(shè)備中提供 SF6 隔離氣體監(jiān)測。除了需要進(jìn)行露點測量外，這兩個應(yīng)用也需要進(jìn)行**而穩(wěn)定的壓力測量。維薩拉已將其 DRYCAP 和 BAROCAP 技術(shù)集成到一系列產(chǎn)品中，這些產(chǎn)品為加壓系統(tǒng)提供壓力和露點測量的獨特組合。
在壓縮空氣中，將露點測量與實時過程壓力數(shù)據(jù)相結(jié)合可提供獨特的優(yōu)勢：可在線將測得的壓力露點轉(zhuǎn)換為大氣壓力或 ppm 單位，從而消除了露點數(shù)據(jù)中出現(xiàn)任何歧義的可能性。這一點很重要，因為受監(jiān)視氣體的壓力變化會改變其露點。
在高壓設(shè)備的 SF6 氣體監(jiān)測中將露點和壓力測量相結(jié)合，可為評估 SF6 隔離狀況提供出色的工具?？梢粤⒓礄z測到泄漏，并針對水分問題進(jìn)行預(yù)警。通過測量露點、壓力和溫度，可以計算 SF6 氣體密度、歸一化壓力、大氣壓力下的露點和 ppm ——這是 SF6 監(jiān)視中的所有基本要素。
BAROCAP® 傳感器
BAROCAP® 傳感器的橫截面
BAROCAP® 故事
BAROCAP® 的故事始于 20 世紀(jì) 70 年代后期，當(dāng)時對新一代維薩拉 Radiosonde RS80 進(jìn)行了微型機(jī)械壓力傳感器的初步研究。事實證明，微型機(jī)械具有挑戰(zhàn)性，維薩拉與芬蘭及國際上的大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)緊密合作，開發(fā)了一種基于硅加工的壓力傳感新技術(shù)。在項目臨近截止日期時取得了關(guān)鍵性突破。首批 BAROCAP® 傳感器交付給了兩個破冰船廠家以及赫爾辛基電話公司。
BAROCAP® 傳感器已經(jīng)到達(dá)了人類從未涉足的地方，包括參與幾次火星探測任務(wù)和卡西尼-惠更斯號任務(wù)（探索土星及其*大的衛(wèi)星泰坦）。BAROCAP® 沖出地球走向外太空的旅程沒有停步，它已被納入構(gòu)成 NASA 火星科學(xué)實驗室（2011 年 11 月啟動）一部分的儀器中。
動態(tài)黑色音符
維薩拉 BAROCAP® 于 1985 年**推出，是一種硅基微型機(jī)械壓力傳感器，可在從氣象到工業(yè)測量的廣泛應(yīng)用中提供可靠的性能。采用了兩項強(qiáng)大技術(shù)：單晶硅材料和電容測量，BAROCAP 傳感器具有低滯后性、出色的準(zhǔn)確度和長期穩(wěn)定性。
BAROCAP® 簡介
? 超過 35 年的**的壓力測量
? 用于優(yōu)良壓力測量的硅基電容式傳感器
? 氣壓范圍 500...1100 hPa
? 適用于工業(yè)應(yīng)用的 50...1100 hPa 壓力范圍
? 工藝過程壓力測量范圍 1...10 bar
? NIST 可溯源的壓力測量
BAROCAP® 的獨特優(yōu)勢
? 低滯后，高復(fù)現(xiàn)性
? **的長期穩(wěn)定性
? 可承受惡劣條件
工作原理
BAROCAP® 是一種微型機(jī)械傳感器，它利用其硅膜的尺寸變化來測量壓力。隨著周圍壓力增加或降低，膜會彎曲，從而增大或減小傳感器內(nèi)部真空間隙的高度。真空間隙相對的兩個面充當(dāng)電極，隨著兩個電極之間距離的變化，傳感器的電容也會發(fā)生變化。測量電容并將其轉(zhuǎn)換為壓力讀數(shù)。
BAROCAP® 傳感器特性 —— 該傳感器的單晶硅材質(zhì)帶來了良好的特性：彈性好、滯后性低、重復(fù)性好、低溫依賴性和**的長期穩(wěn)定性。電容式結(jié)構(gòu)使傳感器具有較寬的動態(tài)范圍，并為超壓阻斷提供了內(nèi)置機(jī)制。
氣壓測量典型應(yīng)用
氣壓測量在氣象學(xué)中具有廣泛的應(yīng)用。需要氣壓數(shù)據(jù)來估計大氣中可沉淀的水蒸氣量。典型的應(yīng)用包括氣象站、數(shù)據(jù)浮標(biāo)、GPS 氣象學(xué)和環(huán)境數(shù)據(jù)記錄。氣壓測量也用于水文學(xué)和土壤學(xué)應(yīng)用。
在多種工業(yè)應(yīng)用中也需要氣壓數(shù)據(jù)。在對壓力敏感的工業(yè)設(shè)備（如激光干涉儀和光刻系統(tǒng)）、航空應(yīng)用以及在廢氣分析中需對氣壓進(jìn)行測量。計量應(yīng)用包括實驗室壓力標(biāo)準(zhǔn)測量和校準(zhǔn)實驗室中的環(huán)境監(jiān)測。
維薩拉提供一系列用于室內(nèi)外的專業(yè)級氣壓計。BAROCAP® 氣壓計在大跨度溫度范圍內(nèi)適用，在高要求的應(yīng)用環(huán)境下（如專業(yè)的氣象和航空）也有可靠表現(xiàn)。
BAROCAP® 在加壓系統(tǒng)中的測量應(yīng)用
維薩拉 DRYCAP® 露點儀表具有悠久的歷史，可在壓縮空氣系統(tǒng)中提供可靠、穩(wěn)定的測量結(jié)果，并在高壓設(shè)備中提供 SF6 隔離氣體監(jiān)測。除了需要進(jìn)行露點測量外，這兩個應(yīng)用也需要進(jìn)行**而穩(wěn)定的壓力測量。維薩拉已將其 DRYCAP 和 BAROCAP 技術(shù)集成到一系列產(chǎn)品中，這些產(chǎn)品為加壓系統(tǒng)提供壓力和露點測量的獨特組合。
在壓縮空氣中，將露點測量與實時過程壓力數(shù)據(jù)相結(jié)合可提供獨特的優(yōu)勢：可在線將測得的壓力露點轉(zhuǎn)換為大氣壓力或 ppm 單位，從而消除了露點數(shù)據(jù)中出現(xiàn)任何歧義的可能性。這一點很重要，因為受監(jiān)視氣體的壓力變化會改變其露點。
在高壓設(shè)備的 SF6 氣體監(jiān)測中將露點和壓力測量相結(jié)合，可為評估 SF6 隔離狀況提供出色的工具?？梢粤⒓礄z測到泄漏，并針對水分問題進(jìn)行預(yù)警。通過測量露點、壓力和溫度，可以計算 SF6 氣體密度、歸一化壓力、大氣壓力下的露點和 ppm ——這是 SF6 監(jiān)視中的所有基本要素。
BAROCAP® 傳感器
BAROCAP® 傳感器的橫截面
BAROCAP® 故事
BAROCAP® 的故事始于 20 世紀(jì) 70 年代后期，當(dāng)時對新一代維薩拉 Radiosonde RS80 進(jìn)行了微型機(jī)械壓力傳感器的初步研究。事實證明，微型機(jī)械具有挑戰(zhàn)性，維薩拉與芬蘭及國際上的大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)緊密合作，開發(fā)了一種基于硅加工的壓力傳感新技術(shù)。在項目臨近截止日期時取得了關(guān)鍵性突破。首批 BAROCAP® 傳感器交付給了兩個破冰船廠家以及赫爾辛基電話公司。
BAROCAP® 傳感器已經(jīng)到達(dá)了人類從未涉足的地方，包括參與幾次火星探測任務(wù)和卡西尼-惠更斯號任務(wù)（探索土星及其*大的衛(wèi)星泰坦）。BAROCAP® 沖出地球走向外太空的旅程沒有停步，它已被納入構(gòu)成 NASA 火星科學(xué)實驗室（2011 年 11 月啟動）一部分的儀器中。